Suprasil® 312

SUPRASIL® 312 ist eine hochreine synthetische Quarzglassorte, die durch die Flammenhydrolyse von SiCl₄ hergestellt wird. Es zeichnet sich durch exzellente physikalische Eigenschaften aus und erfüllt höchste Anforderungen an die optische Qualität, vom tiefen UV bis ins nahe Infrarot. Das bedeutenste Merkmal von SUPRASIL® 312 ist der hohe Grad an optischer Homogenität, die entweder in einer Richtung (der Funktionsrichtung) kontrolliert und spezifiziert ist. Darüber hinaus bietet SUPRASIL® 312 ein hohes Maß an Strahlenbeständigkeit und ist deshalb besonders für den Einsatz bei Hochenergie-Lasern geeignet.

SUPRASIL® 312 ist praktisch frei von Blasen und Einschlüssen.

Die optische Homogenität ist ein Hauptkriterium für eine sehr geringe Wellenfrontdeformation.

SUPRASIL® 312 ist homogen und schichtfrei in der Funktionsrichtung. Schwache Schichten, wenn vorhanden, liegen senkrecht zur Funktionsrichtung und stören daher nicht. Suprasil® 312 eignet sich besonders für die Herstellung von hochwertiger, eindimensionaler UV-Optik, wie Laserfenster, Interferometrieplatten, Linsen, etc.

SUPRASIL® 312 ist die bevorzugte Quarzglassorte für die UV-Mikrolithographie, Interferometrie, spezielle Laseranwendungen, Vakuum-UV-Anwendungen, etc.

Im tiefen UV-Bereich weist SUPRASIL® 312 die höchste Transmission von allen SUPRASIL® Sorten auf.

Die technischen Daten sind unserem Datenblatt "Quarzglas für die Optik - Daten und Eigenschaften" 06.2007/V1.0_D zu entnehmen.

(Blasen und Einschlüsse < 0,08 mm Durchmesser beliben unberücksichtig)

Blasenklasse:
besser als 0 (nach DIN 58927 2/70)

Die Summe der Querschnitte aller Blasen eines Stückes bezogen auf 100 cm3 seines Volumens (TBCS-Wert) ist 0,03 mm².

Blasen gemäß DIN ISO 10110
1 / 1*0,16 für Stückgewichte < 6 kg

1 / 1*0,25 für Stückgewichte 6 - 30 kg

Einschlüsse
Keine

Flecken
Keine

Brechungsindex
n_C = 1,45637 bei 656,3 nm

n_d = 1,45846 bei 587,6 nm

n_F = 1,46313 bei 486,1 nm

n_g = 1,46669 bei 435,8 nm

n = 1,50855 bei 248 nm

bei 20°C, 1 bar atmosphärischem Druck

Genauigkeit ± 3 x 10-5

Dispersion
n_F - n_C = 0,00676
v_d = 67,8 ± 0,5

Grießstruktur :
Keine

Schichten
Schichtfrei in der Funktionsrichtung, d.h. Schlierengrad A nach MIL-G-174-B. Schwache Schichten, wenn vorhanden, liegen senkrecht zur Funktionsrichtung.


Homogenitätsindex (∆n)
Spezifiziert über 90% des Durchmessers oder der Seitenlänge eines geschliffenen Teiles, bzw. 80% bei Rohbarren.

SUPRASIL 312 : In Funktionsrichtung ∆n ≤ 4 ∙ 10^-6;

nichtsphärischer Anteil ∆n (p.s.) ≤ 2 ∙ 10^-6;

auf Anfrage ∆n ≤ 1 ∙ 10^-6.

(Abmessungen und Gewichte praktisch unbegrenzt).

∆n (p.s.) power subtracted:

Zieht man von der gemessenen ∆n - Verteilung denjenigen Anteil ab, der zu einer exakt sphärischen Deformation einer ursprünglich ebenen Phasenfront führen würde, so erhält man den (max.) nichtsphärischen Anteil. Diese Art der Auswertung ist als Option in der Interferometer - Software enthalten.

≤5 nm/cm über 80% des Durchmessers oder der Seitenlänge

≤5...15 nm/cm in der Randzone.

Typische Transmissionskurve
(einschließlich Fresnel Reflexionsverluste) für eine Schichtdicke von 10 mm als Anlage.

Dekadischer Absorptionskoeffizient bei 200 mm
k₂₀₀ < 0,005 cm^-1 (typisch)

k₂₀₀ < 0,01 cm^-1 (garantiert)

Reintransmission T = 10^-kd

und d = Schichtdicke

Infrarot Absorption
OH Absorptionsbanden zeigen sich bei Wellenlängen um 1,39 µm, 2,2 µm und 2,72 µm, verursacht durch den OH-Gehalt von ca. 200 Gewichts ppm.

Keine

Bei Anregung mit Licht der Wellenlänge λ = 254 nm (Hg Niederdruck Lampe und Schott UG 5 Filter) und visueller Inspektion.

Ein hohes Maß an Strahlungsbeständigkeit bei Bestrahlung mit Hochenergie-Lasern. Hohe Zerstörschwelle bei Laserbestrahlung. Keine Veränderung der Durchlässigkeit im sichtbaren Spektralbereich nach Bestrahlung mit Co⁶⁰ (1,15 MeV); 0,063 Mrad/h über 98 Stunden.