Suprasil® 311

SUPRASIL® 311 ist eine hochreine synthetische Quarzglassorte, die durch die Flammenhydrolyse von SiCl₄ hergestellt werden. Es zeichnet sich durch exzellente physikalische Eigenschaften aus und erfüllt höchste Anforderungen an die optische Qualität, vom tiefen UV bis ins nahe Infrarot. Das bedeutendste Merkmal von SUPRASIL® 311 ist der hohe Grad an optischer Homogenität, die in drei Raumrichtungen kontrolliert und spezifiziert ist. Darüber hinaus bieten SUPRASIL 311 und 312 ein hohes Maß an Strahlenbeständigkeit und sind deshalb besonders für den Einsatz bei Hochenergie-Lasern geeignet.

SUPRASIL® 311 ist praktisch frei von Blasen und Einschlüssen.

Die optische Homogenität ist ein Hauptkriterium für eine sehr geringe Wellenfrontdeformation.

SUPRASIL® 311 ist ein optisch isotropes Material. Es ist hoch homogen und schichtfrei in drei Raumrichtungen. Diese Eigenschaften sind besonders wichtig für die Herstellung von mehrdimensionaler Optik wie Prismen, stark gekrümmten Linsen, Strahlteiler, Etalons oder Retroreflektoren.

SUPRASIL® 311 ist die bevorzugten Quarzglassorte für die UV-Mikrolithographie, Interferometrie, spezielle Laseranwendungen, Vakuum-UV-Anwendungen, etc.

Im tiefen UV-Bereich weist SUPRASIL® 311 die höchste Transmission von allen SUPRASIL Sorten auf.

Die technischen Daten sind unserem Datenblatt HQS-SO "Quarzglas für die Optik - Daten und Eigenschaften" 06.2007/V1.0_D zu entnehmen.

(Blasen und Einschlüsse < 0,08 mm Durchmesser bleiben unberüchsichtigt)

Blasenklasse:
besser als 0 (nach DIN 58927 2/70)

Die Summe der Querschnitte aller Blasen eines Stückes bezogen auf 100 cm³ seines Volumens (TBCS-Wert) ist 0,03 mm²

Blasen gemäß DIN ISO 10110
1/ 2*0,10 für Stückgewichte < 6 kg

Einschlüsse:
Keine

Flecken:
Keine

Brechungsindex
n_C = 1,45637 bei 656,3 nm

n_d = 1,45846 bei 587,6 nm

n_F = 1,46313 bei 486,1 nm

n_g = 1,46669 bei 435,8 nm

n = 1,50855 bei 248 nm

bei 20°C, 1 bar atmosphärischem Druck

Genauigkeit ± 3 ∙10^-5

Dispersion
n_F - n_C = 0,00676

d =67,8 ± 0,5

Grießstruktur
Keine

Schichten
In drei Raumrichtungen schichtfrei, d.h. besser als Schlierengrad A nach MIL-G-174-B.

Homogenitätsindex (∆n)
Spezifiziert über 90% des Durchmessers oder der Seitenlänge eines geschliffenen Teiles, bzw. 80% bei Rohbarren.

In drei Raumrichtungen ∆n ∙≤ 3 • 10^-6;

nichtsphärischer Anteil ∆n (p.s.) ≤ 1 ∙ 10^-6;

auf Anfrage ∆n ≤ 1 ∙ 10^-6.

(Maximales Gewicht ca. 10 kg, größere Stückgewichte auf Anfrage).

∆n (p.s.) power subtracted: Zieht man von der gemessenen ∆n - Verteilung denjenigen Anteil ab, der zu einer exakt sphärischen Deformation einer ursprünglich ebenen Phasenfront führen würde, so erhält man den (max.) nichtsphärischen Anteil. Diese Art der Auswertung ist als Option in der Interferometer - Software enthalten.

≤ nm/cm über 80% des Durchmessers oder der Seitenlänge

≤ 5.... 15 nm/cm in der Randzone.

Typische Transmissionskurve
(einschließlich Fresnel Reflexionsverluste) für eine Schichtdicke von 10 mm als Anlage.

Dekadischer Absorptionskoeffizient bei 200 mm
k₂₀₀ < 0,005 cm^-1 (typisch)

k₂₀₀ < 0,01 cm^-1 (garantiert)

Reintransmission T = 10^-kd

und d = Schichtdicke

Infrarot Absorption
OH Absorptionsbanden zeigen sich bei Wellenlängen um 1,39 µm, 2,2 µm und 2,72 µm, verursacht durch den OH-Gehalt von ca. 200 Gewichts ppm.

Keine

Bei Anregung mit Licht der Wellenlänge λ = 254 nm (Hg Niederdruck Lampe und Schott UG 5 Filter) und visueller Inspektion.

Ein hohes Maß an Strahlungsbeständigkeit bei Bestrahlung mit Hochenergie-Lasern.

Hohe Zerstörschwelle bei Laserbestrahlung.

Keine Veränderung der Durchlässigkeit im sichtbaren Spektralbereich nach Bestrahlung mit Co⁶⁰ (1,15 MeV);

0,063 Mrad/h über 98 Stunden.