Interferometrie: 2D Grafiken mit Analyse
Mess-Wellenlänge: 632,8nm
Standard-Ablauf:
- Probendurchmesser: ≤ 450mm,
rechteckige Platten entsprechend kleiner - Probendicke: 22mm - 400mm
- CA-Duchmesser: ≤ 430mm
rechteckige Platten entsprechend kleiner - Mess-Genauigkeit: 2σ = 0,3 ppm
Polierte Platten Technik
- Probendurchmesser : 135mm - 345 mm
- Probendicke: 20 mm - 80 mm
- CA Durchmesser:130 mm - 310 mm
- Oberflächenqualität: Politur besser als lambda / 2,
keine hochfrequenten Abweichungen,
ein Tilt von ~ 4 Bogenminuten - Mess-Genauigkeit: 2σ = 0,05 ppm
Stitching-Technik
- Probendurchmesser : ≤ 650 mm x 650mm
- Probendicke: 20 mm - 240 mm
- CA Durchmesser: ≤ 610 mm x 610mm
- Mess-Genauigkeit: 2σ = 1 ppm
